仪器名称：扫描电子显微镜
仪器简介：
EVO 18是高质量和高分辨率成像的分析型扫描电子显微镜，适用于多种重量和尺寸的样品，其应用领域涵盖地质学、法医学和失效分析等。可在高真空(HV)、可变真空(VP)、扩展真空(EP)模式下对不导电样品成像，获得更多的细节信息。EVO MA15拥有着125×125×50mm的XYZ轴行程和145mm的最大样品高度，满足不同类型客户的测样需求。同时，EVO MA15以EDS和WDS接口为标准，展示了EVO应用范围的灵活性，提升定量分析的准确性。
参数指标：
分辨率：3.0nm@ 30KV 8.0nm@ 3KV 20nm@ 1KV
加速电压：0.2—30KV
放大倍数：5—1,000,000x
探针电流：0.5pA-5uA
X-射线分析工作距离：8.5mm 35°接收角
低真空压力范围：10—400Pa
工作室：365mm(φ)×275mm(h)
样品台：5轴马达全自动样品台
X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°（连续）
最大试样高度：145mm，最大试样直径：200mm
系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统
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