大型仪器简介(三)扫描电子显微镜

时间:2021-11-10 作者: 来源:万博app最新版下载安装 浏览:50

仪器名称:扫描电子显微镜

仪器简介:

EVO 18是高质量和高分辨率成像的分析型扫描电子显微镜,适用于多种重量和尺寸的样品,其应用领域涵盖地质学、法医学和失效分析等。可在高真空(HV)、可变真空(VP)、扩展真空(EP)模式下对不导电样品成像,获得更多的细节信息。EVO MA15拥有着125×125×50mmXYZ轴行程和145mm的最大样品高度,满足不同类型客户的测样需求。同时,EVO MA15EDSWDS接口为标准,展示了EVO应用范围的灵活性,提升定量分析的准确性。

 

参数指标:

分辨率:3.0nm@ 30KV  8.0nm@ 3KV  20nm@ 1KV

加速电压:0.230KV

放大倍数:51,000,000x

探针电流:0.5pA-5uA

X-射线分析工作距离:8.5mm  35°接收角

低真空压力范围:10400Pa

工作室:365mm(φ)×275mm(h)

样品台:5轴马达全自动样品台

X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°(连续)

最大试样高度:145mm,最大试样直径:200mm

系统控制:基于Windows 7 SmartSEM操作系统


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