仪器名称:扫描电子显微镜
仪器简介:
EVO 18是高质量和高分辨率成像的分析型扫描电子显微镜,适用于多种重量和尺寸的样品,其应用领域涵盖地质学、法医学和失效分析等。可在高真空(HV)、可变真空(VP)、扩展真空(EP)模式下对不导电样品成像,获得更多的细节信息。EVO MA15拥有着125×125×50mm的XYZ轴行程和145mm的最大样品高度,满足不同类型客户的测样需求。同时,EVO MA15以EDS和WDS接口为标准,展示了EVO应用范围的灵活性,提升定量分析的准确性。
参数指标:
分辨率:3.0nm@ 30KV 8.0nm@ 3KV 20nm@ 1KV
加速电压:0.2—30KV
放大倍数:5—1,000,000x
探针电流:0.5pA-5uA
X-射线分析工作距离:8.5mm 35°接收角
低真空压力范围:10—400Pa
工作室:365mm(φ)×275mm(h)
样品台:5轴马达全自动样品台
X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°(连续)
最大试样高度:145mm,最大试样直径:200mm
系统控制:基于Windows 7 的SmartSEM操作系统
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