仪器名称：扫描探针显微镜（SPM）
仪器简介：
SPM在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的新型探针显微镜，通过探针在样品表面扫描同时记录针尖与样品间的相互作用力来进行探测，具有多种扫描成像模式，可对样品表面进行二维及三维成像。SPM具有很高的分辨率，可得到实时的、真实的样品表面图像。应用领域宽，可用于物理、化学、生物、医学材料、微电子等基础与应用学科。
参数指标：
扫描范围: 50µm×50µm
分辨率: STM（X-Y向0.1nm，Z向0.01nm）
轻触模式AFM（X-Y向0.2nm，Z向0.03nm）
轻敲模式AFM（X-Y向0.2nm，Z向0.1nm）
扫描角度: -180°~180°
高精度X-Y样品移动平台：移动范围3mm×3mm，X-Y最小步长85nm
扫描频率：0.1~100Hz
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